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    薄膜方塊電阻測試儀

    薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架、四探針頭及測量軟件組成
    測量范圍
    10-5 ------1.9*105  Ω?cm
    10-4------1.9*104  Ω?cm
    可測硅棒尺寸: ,長度300mm;直徑20mm(**按用戶要求%改)
    輸出電流:DC0.001-100mA  五檔連續可調   測量范圍:0-199.99mV
    靈 敏 度: 10μA
    輸入阻抗:1000ΩM
    電阻測量誤差:%檔均低于±0.05%
    供電電源:AC 220V ±10% 50/60Hz.
    使用環境:溫度:23±2℃   相對溫度:≤65%
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