自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀文章

儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。
儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊，，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。
，指標(biāo)：
測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm;折射率范圍：1-10
測(cè)量，示值：≤1nm
入射角：20°- 90°精度≤0.05°
偏振器方位角范圍：0°- 180°
度盤(pán)刻度：每格1度
偏振器步進(jìn)角：0.014°/步
儀器測(cè)量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)）
測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005
光學(xué)中心高度：80mm
允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
外形尺寸：680*390*310mm
主機(jī)重量：26kg
儀器成套性：
主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)）。

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